【ETF收评：半导体设备ETF领涨6.06%，中韩半导体ETF领跌5.99%】ETF收盘涨跌不一，半导体设备ETF（561980）领涨6.06%，半导体ETF（159582）涨5.37%，半导体设备ETF（159558）涨5.31%，中韩半导体ETF（513310）领跌5.99%，标普油气ETF（513350）跌4.28%，标普油气ETF（159518）跌4.05%。