【中韩半导体ETF华泰收涨5.04% 科创半导体设备ETF鹏华跌3.26%】5月21日，ETF午间收盘涨跌不一，中韩半导体ETF华泰(513310)领涨5.04%，金融科技ETF鹏华(563670)涨3.84%，巴西ETF易方达(520870)涨3.63%；科创半导体设备ETF鹏华(589020)领跌3.26%，科创半导体设备ETF华泰柏瑞(588710)跌2.95%，标普油气ETF嘉实(159518)跌2.89%。