上证报中国证券网讯(记者潘建樑)天准科技（688003）晚间公告，公司拟与苏州融享创业投资合伙企业(有限合伙)、江苏南通元禾璞华战新创业投资合伙企业(有限合伙)、嘉兴青屹思腾创业投资合伙企业(有限合伙)及祝昌华共同增资苏州矽行，本次增资总金额22,000万元(对应注册资本：1,558.7978万元)，其中：公司拟出资13,500万元(对应注册资本956.5350万元)，本次增资完成后，天准科技（688003）持有苏州矽行的股权比例由12.10%上升到17.03%。
苏州矽行成立于2021年11月9日，主要从事晶圆前道缺陷检测设备及零部件的研发、生产及销售。设立至今已先后发布面向65nm制程节点的TB1100、面向40nm制程节点TB1500、以及面向14nm-28nm制程节点的TB2000共三代明场纳米图形晶圆缺陷检测设备产品。目前，TB1500明场检测设备已正式交付客户，服务于其量产线的量产质量保障；TB2000明场检测设备已交付给头部晶圆厂试用。截至本公告披露之日，苏州矽行正在执行的销售订单及Demo订单合计6,887万元(含税)。
